一種高產(chǎn)能鏈?zhǔn)絺鬏斦婵湛涛g和鍍膜設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201820100608.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN207765415U | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207765415U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-08-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 上官泉元;莊正軍;鄒開(kāi)峰;朱海劍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 常州比太黑硅科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集智東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 常州比太黑硅科技有限公司 |
| 地址 | 213164 江蘇省常州市武進(jìn)高新區(qū)鳳翔路7號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高產(chǎn)能鏈?zhǔn)絺鬏斦婵湛涛g和鍍膜設(shè)備，包括按工藝順序依次設(shè)置的裝載腔、緩沖腔一、工藝腔、緩沖腔二及卸載腔；裝載腔、工藝腔及卸載腔分別通過(guò)泵管路對(duì)應(yīng)設(shè)置有裝載泵、工藝泵及卸載泵；裝載腔和卸載腔分別設(shè)置載板頂升機(jī)構(gòu)，裝載腔的載板頂升機(jī)構(gòu)用于兩塊未處理載板的同時(shí)進(jìn)出，卸載腔的載板頂升機(jī)構(gòu)用于兩塊處理后載板的同時(shí)進(jìn)出，載板在裝載腔、緩沖腔一、工藝腔、緩沖腔二及卸載腔之間由鏈?zhǔn)捷佪嗇斔?。由于采用了載板頂升機(jī)構(gòu)，使得裝載腔和卸載腔一次可以進(jìn)出兩塊載板，因此大大提高設(shè)備的產(chǎn)能并由于減少了回填氣體的頻率而大大降低了能耗。 |
