一種高產(chǎn)能鏈?zhǔn)絺鬏斦婵湛涛g和鍍膜設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820100608.5 申請日 -
公開（公告）號 CN207765415U 公開（公告）日 2018-08-24
申請公布號 CN207765415U 申請公布日 2018-08-24
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 上官泉元;莊正軍;鄒開峰;朱海劍 申請（專利權(quán)）人 常州比太黑硅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 常州比太黑硅科技有限公司
地址 213164 江蘇省常州市武進(jìn)高新區(qū)鳳翔路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高產(chǎn)能鏈?zhǔn)絺鬏斦婵湛涛g和鍍膜設(shè)備，包括按工藝順序依次設(shè)置的裝載腔、緩沖腔一、工藝腔、緩沖腔二及卸載腔；裝載腔、工藝腔及卸載腔分別通過泵管路對應(yīng)設(shè)置有裝載泵、工藝泵及卸載泵；裝載腔和卸載腔分別設(shè)置載板頂升機(jī)構(gòu)，裝載腔的載板頂升機(jī)構(gòu)用于兩塊未處理載板的同時進(jìn)出，卸載腔的載板頂升機(jī)構(gòu)用于兩塊處理后載板的同時進(jìn)出，載板在裝載腔、緩沖腔一、工藝腔、緩沖腔二及卸載腔之間由鏈?zhǔn)捷佪嗇斔?。由于采用了載板頂升機(jī)構(gòu)，使得裝載腔和卸載腔一次可以進(jìn)出兩塊載板，因此大大提高設(shè)備的產(chǎn)能并由于減少了回填氣體的頻率而大大降低了能耗。