一種干法制絨黑硅后清洗工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810420509.X 申請日 -
公開（公告）號 CN108682615A 公開（公告）日 2018-10-19
申請公布號 CN108682615A 申請公布日 2018-10-19
分類號 H01L21/02;H01L21/306;H01L31/18;H01L31/0236 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王亞勉;韓培勇;丁建寧;黃麗君;劉金浩;袁寧一;上官泉元 申請（專利權(quán)）人 常州比太黑硅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 常州比太黑硅科技有限公司
地址 213164 江蘇省常州市武進(jìn)高新區(qū)鳳翔路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種干法制絨黑硅后清洗工藝，包括：使用HF去除硅片表面的反應(yīng)副產(chǎn)物，再依次使用去離子水、KOH溶液、去離子水、HF/HCL的混合溶液、去離子水清洗硅片后脫水烘干得到黑硅成品。本發(fā)明由于避免了使用含有N元素的HNO3及BOE而極大降低了污水處理難度及排廢量；干法制絨后使用堿清洗的微觀尖端組織減少，可帶來一定程度的提效，工藝時(shí)間可大大減少并大大提高產(chǎn)能。