一種檢測器件、MEMS陀螺儀
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021316208.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212843622U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請公布號 | CN212843622U | 申請公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號 | G01C19/5656(2012.01)I;G01C19/5663(2012.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 王丹;宋吉濤;余綜;牛滿科;李慧靈 | 申請（專利權(quán)）人 | 北京坦達(dá)聯(lián)軒控制技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100088北京市豐臺區(qū)盧溝橋東關(guān)3.5號8幢2層203室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種檢測器件、MEMS陀螺儀，涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型的檢測器件固定在玻璃基底上，包括：第一電極塊、第二電極塊、第一質(zhì)量塊、第二質(zhì)量塊和固定錨點，第一電極塊和第一質(zhì)量塊、第二電極塊和第二質(zhì)量塊均通過電容連接，第一電極塊和第二電極塊結(jié)構(gòu)相同，第一質(zhì)量塊和第二質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)對稱，對稱設(shè)置在固定錨點之間；第一質(zhì)量塊、第二質(zhì)量塊、固定錨點之間通過支承梁連接，第一電極塊、第二電極塊、固定錨點均與玻璃基底鍵合，第一質(zhì)量塊和第二質(zhì)量塊懸浮在玻璃基底上方。本實用新型的技術(shù)方案提高了陀螺儀的品質(zhì)因子Q，實現(xiàn)了驅(qū)動和檢測的機(jī)械解耦，減少了噪聲信號，提高了陀螺儀的信噪比。?? |
