一種檢測器件、MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010643727.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111829496A 公開（公告）日 2020-10-27
申請公布號 CN111829496A 申請公布日 2020-10-27
分類號 G01C19/5656(2012.01)I;G01C19/5663(2012.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王丹;宋吉濤;余綜;牛滿科;李慧靈 申請（專利權）人 北京坦達聯(lián)軒控制技術有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 100088北京市豐臺區(qū)盧溝橋東關3.5號8幢2層203室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種檢測器件、MEMS陀螺儀，涉及微電子機械系統(tǒng)領域技術領域。本申請的檢測器件固定在玻璃基底上，包括：第一電極塊、第二電極塊、第一質量塊、第二質量塊和固定錨點，第一電極塊和第一質量塊、第二電極塊和第二質量塊均通過電容連接，第一電極塊和第二電極塊結構相同，第一質量塊和第二質量塊結構對稱，對稱設置在固定錨點之間；第一質量塊、第二質量塊、固定錨點之間通過支承梁連接，第一電極塊、第二電極塊、固定錨點均與玻璃基底鍵合，第一質量塊和第二質量塊懸浮在玻璃基底上方。本申請的技術方案提高了陀螺儀的品質因子Q，實現(xiàn)了驅動和檢測的機械解耦，減少了噪聲信號，提高了陀螺儀的信噪比。??