一種測(cè)試裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022111587.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212844317U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212844317U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | G01M13/00(2019.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 牛滿科;趙陽(yáng);黃少鋒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京坦達(dá)聯(lián)軒控制技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100165北京市豐臺(tái)區(qū)盧溝橋東關(guān)3.5號(hào)8幢2層203室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及機(jī)械領(lǐng)域，解決了目前測(cè)試MEMS器件時(shí)線纜較多、干擾大的技術(shù)問題。本實(shí)用新型的測(cè)試裝置包括：上端蓋、測(cè)試板和下端蓋，上端蓋和下端蓋的外緣分別設(shè)置有多個(gè)第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)，第一凸臺(tái)、測(cè)試板和第二凸臺(tái)上分別開設(shè)有多個(gè)第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔，經(jīng)同時(shí)穿過第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔的螺栓，使上端蓋、測(cè)試板和下端蓋形成密閉空間；測(cè)試板上鋪設(shè)有覆銅線，覆銅線外引至上端蓋或下端蓋的外緣外；下端蓋遠(yuǎn)離測(cè)試板的一側(cè)，導(dǎo)通連接有與下端蓋一體化連接的筒體。本實(shí)用新型用于減少M(fèi)EMS器件測(cè)試時(shí)的信號(hào)干擾。?? |
