一種真空勻料填料蒸發(fā)設備及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111235292.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113981378A 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN113981378A 申請公布日 2022-01-28
分類號 C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭壽;潘錦功;羅潤;周冬;趙雷;樊建平;青漢森;東冬冬;王磊;余柯良;蔣猛;傅干華 申請（專利權）人 成都中建材光電材料有限公司
代理機構 成都市集智匯華知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 謝模杰;涂興銳
地址 610000四川省成都市雙流區(qū)西航港街道空港二路558號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于薄膜制備技術領域，尤其涉及一種真空勻料填料蒸發(fā)設備，包括填料倉、沉積倉和計料機構；所述填料倉設有抽空閥，所述填料倉內設有儲料箱；所述沉積倉設置于填料倉的下方，并與填料倉連通；所述計料機構位于調料倉內，所述計料機構可活動的設置在填料倉或沉積倉內；所述計料機構和儲料箱之間設有第一閥門。本發(fā)明能夠在原料用盡后，可實現(xiàn)密閉式填料，避免設備內器件在空氣中的長時間暴露，大幅降低烘烤和抽真空時間，相應的減少整個填料周期，同時提高設備的稼動率，提高生產效率和產量。本發(fā)明還公開了一種應用于上述設備的使用方法。