一種碲化鎘太陽能電池的連續(xù)生產(chǎn)裝備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111233770.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114005905A 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN114005905A 申請公布日 2022-02-01
分類號 H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 羅潤;彭壽;周冬;趙雷;樊建平;東冬冬;青漢森;王磊;李甍娜;潘錦功;蔣猛;傅干華 申請（專利權(quán)）人 成都中建材光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都市集智匯華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 謝模杰;涂興銳
地址 610000四川省成都市雙流區(qū)西航港街道空港二路558號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種碲化鎘太陽能電池的連續(xù)生產(chǎn)裝備，包括沉積系統(tǒng)和退火系統(tǒng)；所述沉積系統(tǒng)用于在真空環(huán)境下為玻璃進(jìn)行碲化鎘沉積；所述退火系統(tǒng)與沉積系統(tǒng)連通，用于在非真空環(huán)境下為沉積碲化鎘后的玻璃進(jìn)行退火；所述沉積系統(tǒng)和退火系統(tǒng)之間設(shè)有第一過渡腔；所述退火系統(tǒng)設(shè)有氣體過濾設(shè)備。本發(fā)明將沉積和退火兩個制程工序?qū)崿F(xiàn)集成，有效提高工藝效率、降低生產(chǎn)成本；并且利用氣體過濾設(shè)備保證退火條件，確保退火效果。