石墨舟矯正滑臺(tái)和管式PECVD設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122647184.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216712233U 公開(kāi)（公告）日 2022-06-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN216712233U 申請(qǐng)公布日 2022-06-10
分類(lèi)號(hào) C23C16/50（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 侯淇文;趙愛(ài)爽;董奎奎 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 晶澳太陽(yáng)能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市萬(wàn)慧達(dá)律師事務(wù)所 代理人 -
地址 055550河北省邢臺(tái)市寧晉縣晶龍大街
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種石墨舟矯正滑臺(tái)，其包括固定機(jī)構(gòu)、X軸矯正機(jī)構(gòu)和Y軸矯正機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)用于石墨舟的放置，所述X軸矯正機(jī)構(gòu)和Y軸矯正機(jī)構(gòu)均設(shè)在所述固定機(jī)構(gòu)上，所述石墨舟在放置過(guò)程中通過(guò)所述X軸矯正機(jī)構(gòu)在所述固定機(jī)構(gòu)上沿X軸方向移動(dòng)，所述石墨舟在放置后通過(guò)所述Y軸矯正機(jī)構(gòu)在所述固定機(jī)構(gòu)上沿Y軸方向移動(dòng)，所述X軸方向與所述Y軸方向相互垂直。本申請(qǐng)具有以下效果：通過(guò)X軸矯正機(jī)構(gòu)在石墨舟的放置過(guò)程中調(diào)節(jié)石墨舟沿X軸方向的位置，通過(guò)Y軸矯正機(jī)構(gòu)在石墨舟放置后調(diào)節(jié)Y軸方向的位置，可以達(dá)到對(duì)石墨舟的平面位置進(jìn)行矯正的目的，從而便于機(jī)械手對(duì)其進(jìn)行精準(zhǔn)地抓取。