氧化鋁沉積設(shè)備及供氣方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010962180.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112144043B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112144043B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/455（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 趙環(huán);白進(jìn)謙;王朝輝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 晶澳太陽(yáng)能有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京市萬(wàn)慧達(dá)律師事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 055550河北省邢臺(tái)市寧晉縣晶龍大街 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)一種氧化鋁沉積設(shè)備，包括三甲基鋁儲(chǔ)液倉(cāng)、氬氣源、以及依次連通的液體蒸發(fā)器控制系統(tǒng)、混氣管和反應(yīng)倉(cāng)；所述三甲基鋁儲(chǔ)液倉(cāng)具有送液管，所述送液管與所述液體蒸發(fā)器控制系統(tǒng)連通；所述氬氣源具有并聯(lián)設(shè)置的第一送氣管和第二送氣管；所述第一送氣管與所述液體蒸發(fā)器控制系統(tǒng)連通，所述第二送氣管與所述混氣管連通，以向所述混氣管中補(bǔ)入氬氣，形成通入所述反應(yīng)倉(cāng)中的工藝氣體。本發(fā)明還公開(kāi)了一種供氣方法。通過(guò)本發(fā)明不僅可以有效降低液體蒸發(fā)器控制系統(tǒng)的堵塞概率，而且還能提升鍍膜片的品質(zhì)和生產(chǎn)產(chǎn)能，同時(shí)提升沉積設(shè)備自動(dòng)化上下料設(shè)備的開(kāi)機(jī)速率。 |
