氧化鋁沉積設備及供氣方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010962180.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112144043B 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN112144043B 申請公布日 2022-06-14
分類號 C23C16/455（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙環(huán);白進謙;王朝輝 申請（專利權）人 晶澳太陽能有限公司
代理機構 北京市萬慧達律師事務所 代理人 -
地址 055550河北省邢臺市寧晉縣晶龍大街
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種氧化鋁沉積設備，包括三甲基鋁儲液倉、氬氣源、以及依次連通的液體蒸發(fā)器控制系統(tǒng)、混氣管和反應倉；所述三甲基鋁儲液倉具有送液管，所述送液管與所述液體蒸發(fā)器控制系統(tǒng)連通；所述氬氣源具有并聯(lián)設置的第一送氣管和第二送氣管；所述第一送氣管與所述液體蒸發(fā)器控制系統(tǒng)連通，所述第二送氣管與所述混氣管連通，以向所述混氣管中補入氬氣，形成通入所述反應倉中的工藝氣體。本發(fā)明還公開了一種供氣方法。通過本發(fā)明不僅可以有效降低液體蒸發(fā)器控制系統(tǒng)的堵塞概率，而且還能提升鍍膜片的品質(zhì)和生產(chǎn)產(chǎn)能，同時提升沉積設備自動化上下料設備的開機速率。