一種激光摻雜SE電池圖形精度的檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110031911.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112768365B 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN112768365B 申請公布日 2022-06-14
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王貴梅;王玉肖;張建軍 申請（專利權(quán)）人 晶澳太陽能有限公司
代理機構(gòu) 北京市萬慧達律師事務(wù)所 代理人 -
地址 055550河北省邢臺市寧晉縣晶龍大街
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種激光摻雜SE電池圖形精度的檢測方法，包括如下步驟：步驟S1，分別測量待測電池片的激光線PT值、激光線間距值、邊距偏移值、對角線差值、激光線的單側(cè)偏移值、激光線的中線偏移值；步驟S2，分別判斷上個步驟所測量的六種參數(shù)是否滿足各自對應(yīng)的精度要求；所述精度要求是根據(jù)SE電池圖形的設(shè)計尺寸確定的。本申請的方案通過檢測激光線的單側(cè)偏移值、激光線的中線偏移值，能夠精確地反映所有激光線的分布，在印刷工序之前及時發(fā)現(xiàn)SE電池圖形異常的硅片，防止精度不夠的硅片進入印刷工序從而在印刷對位時造成批量套印不良，有效避免絲網(wǎng)印刷圖形與SE圖形套印不良品的產(chǎn)生，提高經(jīng)濟效益。