擴(kuò)散爐和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的熱量回收系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122693085.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216558337U 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN216558337U 申請公布日 2022-05-17
分類號 F27D17/00（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 王廣義;王瑞召;畢衛(wèi)超 申請（專利權(quán)）人 晶澳太陽能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市萬慧達(dá)律師事務(wù)所 代理人 -
地址 055550河北省邢臺市寧晉縣晶龍大街
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種擴(kuò)散爐和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的熱量回收系統(tǒng)，其包括擴(kuò)散爐、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備和冷卻塔，擴(kuò)散爐和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備與冷卻塔之間設(shè)置有排風(fēng)裝置，且擴(kuò)散爐和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備通過排風(fēng)裝置與冷卻塔或者大氣相連通，排風(fēng)裝置上設(shè)置有用于切換排風(fēng)裝置的排風(fēng)路徑的閥門機(jī)構(gòu)。本申請具有以下效果：冬季時，閥門機(jī)構(gòu)控制擴(kuò)散爐和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備通過排風(fēng)裝置與冷卻塔相連通，擴(kuò)散爐和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備將硅片制程過程中產(chǎn)生的熱量通向冷卻塔，冷卻塔利用該熱量進(jìn)行升溫?fù)Q熱，且冷卻塔的填料不易因環(huán)境溫度過低而產(chǎn)生凍結(jié)現(xiàn)象，達(dá)到了對熱量進(jìn)行回收的目的。