一種用于管式鍍膜設(shè)備的供源系統(tǒng)及供源方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210343891.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114686854A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114686854A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | C23C16/455（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 李少猛;鄭偉;劉晨晶 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 晶澳太陽(yáng)能有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京市萬(wàn)慧達(dá)律師事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 055550河北省邢臺(tái)市寧晉縣晶龍大街 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開一種用于管式鍍膜設(shè)備的供源系統(tǒng)及供源方法，包括：三甲基鋁供給柜，供給氣態(tài)的三甲基鋁；一級(jí)管路，連通于三甲基鋁供給柜以輸送氣態(tài)的三甲基鋁；二級(jí)管路，并列連通于一級(jí)管路以輸送經(jīng)一級(jí)管路輸送的三甲基鋁；多個(gè)分支管路，依次從二級(jí)管路分支出來并分別連通到對(duì)應(yīng)的用于鍍膜的工藝爐管；多個(gè)真空泵設(shè)置在二級(jí)管路的末端并且與工藝爐管一一對(duì)應(yīng)，在一級(jí)管路上或者在二級(jí)管路上且在所有的分支管路的上游側(cè)設(shè)置有總控制閥門；分支管路上且緊鄰工藝爐管的入口處設(shè)置有分支閥門，在二級(jí)管路上且在所有的分支管路的下游側(cè)設(shè)置有清洗閥門。本申請(qǐng)縮短了分支閥門與工藝爐管之間的管路長(zhǎng)度，取消了后清洗，提高了三甲基鋁供給柜的利用率。 |
