一種基于異質(zhì)結(jié)二維電子氣的新型光電位置敏感探測(cè)器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210086892.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114597271A 公開(kāi)（公告）日 2022-06-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN114597271A 申請(qǐng)公布日 2022-06-07
分類號(hào) H01L31/0336;H01L31/109;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱家旗;單玉鳳;朱賀;梁新棟;吳惠楨;鄧惠勇;戴寧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
代理機(jī)構(gòu) 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 代理人 李亦慈;唐銀益
地址 310024 浙江省杭州市西湖區(qū)象山支弄1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于異質(zhì)結(jié)二維電子氣的新型光電位置敏感探測(cè)器及其制備方法,探測(cè)器由上到下依次為：設(shè)置于四邊的金屬電極、CdTe層、PbTe層和BaF2襯底，CdTe層和PbTe層構(gòu)成異質(zhì)結(jié)，CdTe層和PbTe層的界面之間是自然形成的二維電子氣，二維電子氣與金屬電極是歐姆接觸。采用MBE的方法，生長(zhǎng)了CdTe/PbTe異質(zhì)結(jié)，其界面處自然產(chǎn)生高濃度高遷移率的二維電子氣，得益于異質(zhì)結(jié)材料自身的物理特性與二維電子氣新奇的側(cè)向光伏效應(yīng)，該器件的工作波長(zhǎng)超過(guò)可見(jiàn)光，工作波段也很寬，可涵蓋中短紅外波段，而且其線性響應(yīng)度較為優(yōu)異。該器件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制備方法簡(jiǎn)便可控，成本低廉，工作原理新奇獨(dú)特，工作范圍涵蓋中短紅外波段，兼具科研與實(shí)用價(jià)值。