一種物理隔離耦合應(yīng)力的焦平面探測器熱層結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210123391.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114551641A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114551641A 申請公布日 2022-05-27
分類號 H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳俊林;王小坤;羅少博;曾智江;郝振貽;朱海勇;季鵬;張啟;李雪 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
代理機(jī)構(gòu) 上海滬慧律師事務(wù)所 代理人 -
地址 200083上海市虹口區(qū)玉田路500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種物理隔離耦合應(yīng)力的焦平面探測器熱層結(jié)構(gòu),熱層結(jié)構(gòu)由高熱導(dǎo)冷平臺、芯片基板和柔性緩沖層組成。本發(fā)明是根據(jù)探測器和制冷機(jī)冷指的耦合特性，在芯片基板設(shè)計(jì)加工一定形狀的圓形凹臺和芯片矩形槽，在柔性緩沖層相應(yīng)位置加工一定形狀緩沖開孔和出氣槽，在確保滿足一定熱負(fù)載所需要熱傳輸能力的前提下，實(shí)現(xiàn)熱傳導(dǎo)鏈路和耦合應(yīng)力傳遞通道的物理隔離。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)大冷量在分置式杜瓦冷平臺上傳輸?shù)牡徒佑|熱阻，同時(shí)避免過盈耦合產(chǎn)生的耦合應(yīng)力對探測器的影響，同時(shí)滿足分置式杜瓦組件航天嚴(yán)酷的環(huán)境適應(yīng)要求。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，兼容性好，可靠性高。可應(yīng)用于各種分置式杜瓦組件。