一種分光與探測一體化的短波紅外光譜探測器
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202210133188.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN114551489A | 公開（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申請公布號 | CN114551489A | 申請公布日 | 2022-05-27 |
| 分類號 | H01L27/146（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王少偉;玄志一;劉清權;陸衛(wèi) | 申請（專利權）人 | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 代理機構 | 上海滬慧律師事務所 | 代理人 | - |
| 地址 | 200083上海市虹口區(qū)玉田路500號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種分光與探測一體化的短波紅外光譜探測器，其結構自下而上由硅基讀出電路、In柱互聯(lián)層、InGaAs光敏芯片、襯底、集成微腔分光結構陣列組成。本發(fā)明中，集成微腔分光結構陣列是基于法布里珀羅（FP）光學微腔原理的多通道集成分光器件。每個分光結構與相應InGaAs光敏芯片像元一體化集成，使每個探測器像元同時具備選頻分光和探測能力，構成分光與探測一體化的的短波紅外光譜探測器。該探測芯片構成了最小化的短波紅外光譜探測組件，具有分光與探測一體，光譜通道可以靈活設計、自由組合，穩(wěn)定性高、工藝兼容等優(yōu)點。 |
