清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022922355.X 申請日 -
公開(公告)號 CN214555768U 公開(公告)日 2021-11-02
申請公布號 CN214555768U 申請公布日 2021-11-02
分類號 B08B3/10(2006.01)I;B01D5/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 萬翠鳳;劉志坤;孟曉龍;張中華;周峰 申請(專利權(quán))人 江蘇愛矽半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 徐州創(chuàng)榮知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陳俊杰
地址 221000江蘇省徐州市徐州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰灣電子信息產(chǎn)業(yè)園A9、A10號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種清洗裝置,包括工藝槽、液體加熱儲槽、蒸汽液化裝置和回流儲存裝置;工藝槽與液體加熱儲槽通過管路連接,液體加熱儲槽頂蓋通過管路、抽氣泵與蒸汽液化裝置連接,蒸汽液化裝置與回流儲存裝置連接,回流儲存裝置與液體加熱儲槽連接;液體加熱儲槽內(nèi)設(shè)有加熱器,液體加熱儲槽上蓋還并聯(lián)一條排風(fēng)管與抽氣泵連接,排風(fēng)管上設(shè)有減壓閥門。本實用新型液體加熱儲槽與工藝槽分開,既方便作業(yè)員取放產(chǎn)品,也減少了對環(huán)境的蒸汽污染;液體加熱儲槽的蒸汽通過蒸汽液化裝置冷凝后儲存在回流儲存裝置中,以再次抽入到液體加熱儲槽中;既達到抽風(fēng),避免蒸汽揮發(fā)到空間中,影響作業(yè)環(huán)境,又起到了蒸汽回收重復(fù)使用的作用。