一種提高剝離工藝成品率的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410648800.4 申請日 -
公開（公告）號 CN104317173B 公開（公告）日 2019-06-28
申請公布號 CN104317173B 申請公布日 2019-06-28
分類號 G03F7/42（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐利輝; 李朝陽 申請（專利權(quán)）人 四川飛陽科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王寶筠
地址 610209 四川省成都市雙流縣西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)長城路一段185號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種提高剝離工藝成品率的方法，包括在基底上涂覆光刻膠；對涂覆在所述基底上的所述光刻膠進(jìn)行曝光，在所述光刻膠上顯影出負(fù)斜角的圖形；在顯影后所述基底上保留的所述光刻膠和顯影出負(fù)斜角的圖形后暴露出的所述基底的表面淀積金屬層；在所述金屬層上覆蓋粘貼膜；沿預(yù)設(shè)方向揭開所述粘貼膜的方式去除所述光刻膠的表面附著的金屬層；將所述光刻膠除去。本發(fā)明所提供的提高剝離工藝成品率的方法可以簡單有效地去除光刻膠表面的金屬層，成品率得到顯著提高。