一種平面光波導(dǎo)的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410369687.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104101950B 公開（公告）日 2017-08-25
申請公布號 CN104101950B 申請公布日 2017-08-25
分類號 G02B6/136(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 馮春蓉;向舟翊;李朝陽 申請（專利權(quán)）人 四川飛陽科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王寶筠
地址 610209 四川省成都市雙流縣西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)長城路一段185號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種平面光波導(dǎo)的制作方法，包括：在襯底表面形成芯層；在所述芯層表面形成金屬層；在所述金屬層表面形成光刻膠層，并圖案化所述光刻膠層；將所述襯底水平放置在刻蝕槽內(nèi)，以圖案化后的光刻膠層為掩膜對所述金屬層進(jìn)行刻蝕，其中，所述襯底設(shè)置有所述金屬層的表面朝上放置，所述金屬層浸沒在所述刻蝕槽內(nèi)的金屬刻蝕試劑內(nèi)；判斷對所述金屬層的刻蝕是否完成，當(dāng)所述刻蝕完成后，去除圖案化后的光刻膠層，以刻蝕后的金屬層為掩膜對所述芯層進(jìn)行刻蝕，圖案化所述芯層，形成預(yù)設(shè)結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)芯層；去除刻蝕后的金屬層，在所述波導(dǎo)芯層表面形成保護(hù)層。所述制作方法降低了平面光波導(dǎo)的制作成本。