一種平面光波導(dǎo)的制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201410369687.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN104101950B | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-08-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN104101950B | 申請(qǐng)公布日 | 2017-08-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | G02B6/136(2006.01)I | 分類(lèi) | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 馮春蓉;向舟翊;李朝陽(yáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 四川飛陽(yáng)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王寶筠 |
| 地址 | 610209 四川省成都市雙流縣西南航空港經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)長(zhǎng)城路一段185號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種平面光波導(dǎo)的制作方法，包括：在襯底表面形成芯層；在所述芯層表面形成金屬層；在所述金屬層表面形成光刻膠層，并圖案化所述光刻膠層；將所述襯底水平放置在刻蝕槽內(nèi)，以圖案化后的光刻膠層為掩膜對(duì)所述金屬層進(jìn)行刻蝕，其中，所述襯底設(shè)置有所述金屬層的表面朝上放置，所述金屬層浸沒(méi)在所述刻蝕槽內(nèi)的金屬刻蝕試劑內(nèi)；判斷對(duì)所述金屬層的刻蝕是否完成，當(dāng)所述刻蝕完成后，去除圖案化后的光刻膠層，以刻蝕后的金屬層為掩膜對(duì)所述芯層進(jìn)行刻蝕，圖案化所述芯層，形成預(yù)設(shè)結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)芯層；去除刻蝕后的金屬層，在所述波導(dǎo)芯層表面形成保護(hù)層。所述制作方法降低了平面光波導(dǎo)的制作成本。 |
