一種平面光波導(dǎo)的濕法刻蝕方法及制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510093910.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104635299B 公開（公告）日 2018-08-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN104635299B 申請(qǐng)公布日 2018-08-21
分類號(hào) G02B6/126;C23F1/02 分類 光學(xué);
發(fā)明人 向舟翊;李朝陽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川飛陽科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王寶筠
地址 610209 四川省成都市雙流縣西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)長城路一段185號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種平面光波導(dǎo)的濕法刻蝕方法，用于對(duì)襯底表面的金屬層進(jìn)行快速刻蝕，所述濕法刻蝕方法包括：在金屬層表面形成圖案化的光刻膠層，作為第一掩膜層；將所述襯底具有金屬的一面向上水平放置并浸沒于刻蝕液中，對(duì)所述金屬層進(jìn)行刻蝕，形成圖案化的金屬層，在刻蝕過程中，使得所述刻蝕液與所述襯底相對(duì)運(yùn)動(dòng)；刻蝕完成后去除所述第一掩膜層。采用所述濕法刻蝕方法對(duì)所述襯底進(jìn)行刻蝕，成本低且工作效率高。本申請(qǐng)還公開了一種平面光波導(dǎo)的制作方法，利用此方法能使制作光波導(dǎo)的效率提高，成本降低。