一種直排大氣的羅茨干式真空泵轉(zhuǎn)子及其加工工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200610155910.2 申請日 -
公開（公告）號 CN101210556B 公開（公告）日 2010-12-15
申請公布號 CN101210556B 申請公布日 2010-12-15
分類號 F04C18/14(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 王光玉;張振厚;劉坤;秦柏林 申請（專利權(quán)）人 上海上凱儀真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司;中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
地址 110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街一號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及羅茨泵設(shè)計，具體地說是一種直排大氣的羅茨干式真空泵轉(zhuǎn)子及其加工工藝。其加工工藝是用腰部圓弧替代漸開線設(shè)計轉(zhuǎn)子塊，單獨(dú)加工轉(zhuǎn)子塊，再與中心軸進(jìn)行組裝；步驟：1)加工轉(zhuǎn)子塊：毛坯選用球墨鑄鐵棒材；加工方法：先加工棒材的外表面及兩個端面，按轉(zhuǎn)子塊厚度切割，然后加工轉(zhuǎn)子塊的其余兩個面(外圓面和內(nèi)圓面)，再根據(jù)使用要求切割成所需厚度的轉(zhuǎn)子塊；2)將兩塊轉(zhuǎn)子塊和銷軸通過銷孔連成一體。本發(fā)明具有加工工藝簡單、成本低，零件通用性強(qiáng)、適用于IC裝備等特點。