一種能自動調(diào)壓的干式真空泵控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210593500.1 申請日 -
公開（公告）號 CN103047144A 公開（公告）日 2013-04-17
申請公布號 CN103047144A 申請公布日 2013-04-17
分類號 F04C28/08(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 郭麗娟;張寧;張軍;李良進;王光玉 申請（專利權(quán)）人 上海上凱儀真空技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
地址 110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種能自動調(diào)壓的干式真空泵控制方法，測量從大氣壓到真空狀態(tài)時真空腔體的真空度參數(shù)，比較目標(biāo)真空度參數(shù)與已存的真空度參數(shù)，讀取頻率信號，使真空腔體達到頻率信號下的真空度，通過循環(huán)逼近過程，完成閉環(huán)控制。本發(fā)明可以根據(jù)客戶需要的真空度，進行抽速自動調(diào)整，達到想要的真空度，并且具有溫度，流量，排氣壓力，功率自動采集系統(tǒng)，可以根據(jù)報警設(shè)置值進行自我監(jiān)測并具有自動保護功能。