一種多級干式真空泵的清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200820013365.8 申請日 -
公開（公告）號 CN201200981Y 公開（公告）日 2009-03-04
申請公布號 CN201200981Y 申請公布日 2009-03-04
分類號 B08B5/00(2006.01);B08B5/02(2006.01) 分類 清潔;
發(fā)明人 王光玉;秦佰林;房偉;劉在行 申請（專利權(quán)）人 上海上凱儀真空技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 許宗富;周秀梅
地址 110168遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街一號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及真空泵清洗技術(shù)，具體地說是一種多級干式真空泵的清洗裝置，包括減壓閥、質(zhì)量流量控制器、電磁閥及氣體管路，減壓閥的一端與氣體輸入端相連，另一端連接有質(zhì)量流量控制器；氣體管路分為封閉獨立的第一部分及第二部分，質(zhì)量流量控制器的輸出端分為兩路、分別與氣體管路的第一、二部分相連接；質(zhì)量流量控制器與氣體管路連接的每一路均設(shè)有電磁閥；氣體管路中的第一部分與干式真空泵的一級腔體相連接，第二部分分別與干式真空泵的二～五腔體連接。本實用新型對每一級腔體均起到了清洗作用，清洗徹底，具有控制簡單、準(zhǔn)確，真空度高等優(yōu)點。