一種能自動(dòng)調(diào)壓的干式真空泵控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210593500.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103047144B 公開(kāi)（公告）日 2014-12-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN103047144B 申請(qǐng)公布日 2014-12-17
分類(lèi)號(hào) F04C28/08(2006.01)I 分類(lèi) 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 郭麗娟;張寧;張軍;李良進(jìn);王光玉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海上凱儀真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
地址 110168 遼寧省沈陽(yáng)市渾南新區(qū)新源街1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種能自動(dòng)調(diào)壓的干式真空泵控制方法，測(cè)量從大氣壓到真空狀態(tài)時(shí)真空腔體的真空度參數(shù)，比較目標(biāo)真空度參數(shù)與已存的真空度參數(shù)，讀取頻率信號(hào)，使真空腔體達(dá)到頻率信號(hào)下的真空度，通過(guò)循環(huán)逼近過(guò)程，完成閉環(huán)控制。本發(fā)明可以根據(jù)客戶(hù)需要的真空度，進(jìn)行抽速自動(dòng)調(diào)整，達(dá)到想要的真空度，并且具有溫度，流量，排氣壓力，功率自動(dòng)采集系統(tǒng)，可以根據(jù)報(bào)警設(shè)置值進(jìn)行自我監(jiān)測(cè)并具有自動(dòng)保護(hù)功能。