一種環(huán)保型半導體硅片清洗劑及其清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610246999.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107304385A 公開（公告）日 2017-10-31
申請公布號 CN107304385A 申請公布日 2017-10-31
分類號 C11D1/825(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I;C11D3/04(2006.01)I;C11D3/33(2006.01)I;C11D3/08(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類 動物或植物油、脂、脂肪物質或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 仲躋和 申請（專利權）人 江蘇天恒納米科技股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 226601 江蘇省南通市城東鎮(zhèn)東海大道(東)18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種環(huán)保型半導體硅片清洗劑及其清洗方法，每100g清洗劑中以下重量份的原料組成：非離子表面活性劑0.1?5g；滲透劑0.1?5g；pH調節(jié)劑0.2?10g；螯合劑0.2?1g；余量為去離子水。本發(fā)明含有各種表面活性劑，同時添加有機堿，能有效去除硅研磨片表面殘留的各種有機物、金屬離子和吸附粒子，保證清洗的均一性，且清洗后硅片不會出現花狀表面，使用壽命長，而且無金屬污染，無毒，無腐蝕性，屬于環(huán)保型產品。