一種曲面光柵的加工裝置及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110919278.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113759451A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113759451A 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類(lèi)號(hào) G02B5/18（2006.01）I 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 金建;邸思;王旭迪;孫學(xué)通 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣州先進(jìn)技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 廣州容大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉新年
地址 511458廣東省廣州市南沙區(qū)海濱路1121號(hào)A棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及微納加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及曲面光柵加工裝置及其制備方法。曲面光柵加工裝置包括平移臺(tái)、PDMS夾具、透鏡、透鏡控制裝置、圓柱筒、圓柱筒控制裝置；PDMS夾具固定于平移臺(tái)上方，用于夾持PDMS光柵模板；平移臺(tái)用于移動(dòng)PDMS光柵模板；透鏡位于PDMS夾具下方；透鏡控制裝置用于移動(dòng)透鏡，透鏡與PDMS光柵模板接觸使其變形；圓柱筒位于PDMS夾具上方，用于裝置PUA溶液以制備PUA曲面光柵；圓柱筒控制裝置用于移動(dòng)圓柱筒。本發(fā)明曲面光柵加工裝置易于組裝，成本低。本發(fā)明的曲面光柵的制備方法簡(jiǎn)單易操作，PUA可多次重復(fù)利用，可大量制作曲面光柵結(jié)構(gòu)。