一種壓力與水聲集成傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010569153.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111537054A | 公開（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申請公布號 | CN111537054A | 申請公布日 | 2020-08-14 |
| 分類號 | G01H3/00(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 史曉晶;柳俊文 | 申請（專利權(quán)）人 | 南京元感微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 南京元感微電子有限公司 |
| 地址 | 210032江蘇省南京市高新開發(fā)區(qū)星火路17號創(chuàng)智大廈B座6樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公開提供一種壓力與水聲集成傳感器及其制備方法，集成傳感器包括：襯底，襯底包括沿其厚度方向相對設(shè)置的第一表面和第二表面，第一表面上設(shè)置第一背腔和第二背腔；頂蓋，頂蓋設(shè)置在第二表面上，頂蓋上設(shè)置有貫穿其厚度的第一金屬化過孔和第二金屬化過孔，并且頂蓋朝向襯底的一側(cè)還設(shè)置有第一空腔和第二空腔，第一空腔和第二空腔分別對應(yīng)第一背腔和第二背腔；在襯底上采用同步構(gòu)圖工藝形成壓力傳感單元和水聲傳感單元，壓力傳感單元與第一金屬化過孔相連，水聲傳感單元與第二金屬化過孔相連。本公開的集成傳感器，將壓力傳感器與水聲傳感器進(jìn)行集成，壓力傳感器與水聲傳感器的探頭之間距離較小，減少水聲傳感器的背景噪聲，提高水聲測量的精度。?? |
