一種微流控系統(tǒng)及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010659077.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111939991A 公開（公告）日 2020-11-17
申請公布號 CN111939991A 申請公布日 2020-11-17
分類號 B01L3/00;C12M1/34;C12M1/02 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 史曉晶;柳俊文 申請（專利權(quán)）人 南京元感微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 南京元感微電子有限公司
地址 210032 江蘇省南京市高新開發(fā)區(qū)星火路17號創(chuàng)智大廈B座6樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種微流控系統(tǒng)及其制備方法中，系統(tǒng)包括：底座；襯底，所述襯底設(shè)置在所述底座上，并且所述襯底上設(shè)置有入口、出口以及分別連通所述入口和所述出口的微流通道；微流泵，所述微流泵設(shè)置在所述襯底上，并與所述微流通道相連，以將流體經(jīng)由所述入口和所述微流通道泵送至所述出口處；流量檢測組件，所述流量檢測組件設(shè)置在所述襯底上，所述流量檢測組件與所述微流通道相對應(yīng)，以檢測所述微流通道內(nèi)的流體流量。本公開實(shí)施例的一種微流控系統(tǒng)，將微流通道、微流泵、流量檢測組件等均集成到同一襯底上，得到了使樣品的注入、預(yù)處理、控制等功能結(jié)合在一起的集成芯片，實(shí)現(xiàn)了微流控分析系統(tǒng)的微型化。