矢量水聲傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910941430.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110631688A 公開（公告）日 2019-12-31
申請公布號 CN110631688A 申請公布日 2019-12-31
分類號 G01H11/06;G01S7/521 分類 測量；測試;
發(fā)明人 史曉晶;柳俊文 申請（專利權(quán)）人 南京元感微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京元感微電子有限公司
地址 210032 江蘇省南京市浦口區(qū)高新技術(shù)開發(fā)區(qū)星火路17號創(chuàng)智大廈B座6樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種矢量水聲傳感器，包括基板、設(shè)置在基板上的矢量芯片、以及與矢量芯片相連的水聲接收件。矢量芯片包括硅襯底、沿至少兩個(gè)不同方向設(shè)置在硅襯底上的水聲測量件、芯片引腳、TGV玻璃以及設(shè)置在TGV玻璃中的金屬化過孔，TGV玻璃夾設(shè)在基板和硅襯底之間，芯片引腳分別與水聲測量件和金屬化過孔連接。水聲接收件，用于接收矢量水聲信號；水聲測量件，用于將矢量水聲信號轉(zhuǎn)換成矢量電信號；TGV玻璃，用于密封芯片引腳，并通過金屬化過孔將矢量電信號傳出?？蓽y聲場矢量信號，提高定位精度；可直接接觸外界水環(huán)境介質(zhì)，不需設(shè)置透聲罩，避免透聲罩帶來的能量損耗，提高靈敏度；體積小，可縮小聲吶系統(tǒng)體積，降低聲吶系統(tǒng)工程的實(shí)施難度。