一種彈簧力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910454749.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110186596A 公開（公告）日 2019-08-30
申請公布號 CN110186596A 申請公布日 2019-08-30
分類號 G01L1/02;G01L1/04 分類 測量；測試;
發(fā)明人 柳俊文;史曉晶 申請（專利權(quán)）人 南京元感微電子有限公司
代理機構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京元感微電子有限公司
地址 210032 江蘇省南京市浦口區(qū)高新技術(shù)開發(fā)區(qū)星火路17號創(chuàng)智大廈B座6樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種彈簧力傳感器。彈簧力傳感器包括傳感器主體，包括沿其厚度方向相對設(shè)置的第一表面和第二表面，第一表面用于接收待測量的彈簧力，第二表面上設(shè)置有液體腔；膜片，位于第二表面并密封液體腔，并承載液體腔內(nèi)的液體壓力；測壓芯片，與液體腔連通，以測量液體腔內(nèi)的液體壓力信號；芯片基板，承載測壓芯片；信號處理器，以處理測壓芯片測量到的液壓腔內(nèi)的液體壓力信號并輸出。借助液體腔、膜片、測壓芯片、芯片基板和信號處理器，可以實現(xiàn)準確且實時的測量彈簧力，另外，采用測壓芯片直接測量液體腔內(nèi)的液體壓力信號，可以縮小彈簧力傳感器的尺寸，并提高彈簧力傳感器測量彈簧力的準確度。