一種MEMS氣體差壓傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711045942.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107830967B 公開（公告）日 2019-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN107830967B 申請(qǐng)公布日 2019-11-26
分類號(hào) G01L13/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 谷永先;吳孔培;黃從貴;瞿惠琴 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京元感微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 無錫職業(yè)技術(shù)學(xué)院;南京元感微電子有限公司
地址 214121 江蘇省無錫市高浪西路1600號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出的是一種MEMS氣體差壓傳感器，其結(jié)構(gòu)包括外殼，密封橡膠圈，芯片，電路板；其中，外殼中間有一個(gè)凹槽，芯片處在凹槽內(nèi)，電路板蓋在凹槽上方，電路板與外殼之間有密封橡膠圈。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：1）相對(duì)于隔膜式差壓傳感器，能夠檢測(cè)低至0.1Pa的微小差壓，并且具有高靈敏度、零點(diǎn)漂移小、以及高動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度等優(yōu)點(diǎn)；2）能夠運(yùn)用到醫(yī)療設(shè)備以及供熱通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)等應(yīng)用領(lǐng)域。