測量固體間壓力的力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910454627.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110044520B 公開（公告）日 2021-02-26
申請公布號 CN110044520B 申請公布日 2021-02-26
分類號 G01L1/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 柳俊文;史曉晶 申請（專利權(quán)）人 南京元感微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙吉陽;李明
地址 210032江蘇省南京市浦口區(qū)高新技術(shù)開發(fā)區(qū)星火路17號創(chuàng)智大廈B座6樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種測量固體間壓力的力傳感器，包括沿其厚度方向相對設(shè)置的第一表面和第二表面，第一表面用于接收待測量的壓力，第二表面上設(shè)置有液體腔，液體腔呈柱狀結(jié)構(gòu)；膜片，位于第二表面并密封液體腔，并承載液體腔內(nèi)的液體壓力，并在液體腔上的正投影落在液體腔外側(cè)；測壓芯片，與液體腔連通，并位于液體腔沿其徑向方向的中部區(qū)域處，以測量液體腔內(nèi)的液體壓力信號；芯片基板，承載測壓芯片；信號處理器，以處理測壓芯片測量到的液體腔內(nèi)的液體壓力信號并輸出。本發(fā)明可以實現(xiàn)準(zhǔn)確且實時的測量壓力，另外，采用測壓芯片直接測量液體腔內(nèi)的液體壓力信號，可以縮小力傳感器的尺寸，并提高力傳感器測量固體間壓力的準(zhǔn)確度。??