一種鍵合片分離設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921815962.7 申請日 -
公開（公告）號 CN210925951U 公開（公告）日 2020-07-03
申請公布號 CN210925951U 申請公布日 2020-07-03
分類號 H01L21/67 分類 -
發(fā)明人 安凱 申請（專利權(quán)）人 沈陽硅基科技有限公司
代理機構(gòu) 北京天奇智新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龍濤
地址 110000 遼寧省沈陽市沈陽出口加工區(qū)渾南東路15-22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種鍵合片分離設(shè)備，包括機臺，所述機臺內(nèi)前部處安裝有若干結(jié)構(gòu)相同的可升降暗盒載臺，所述上真空機械手與機臺相連接，所述下真空機械手的左右兩側(cè)處安裝有一對結(jié)構(gòu)相同的紅外掃描刀具，一對所述紅外掃描刀具與機臺相連接，一對所述紅外掃描刀具與鍵合片鍵合位置相對應(yīng)，本實用新型涉及鍵合片分離技術(shù)領(lǐng)域,該鍵合片分離設(shè)備，本實用新型提供的是一種鍵合片分離裝置，它包括：用于放置暗盒的升降載臺，可實現(xiàn)帶動暗盒上下移動方便真空機械手臂吸取鍵合片，采用上述結(jié)構(gòu)，通過取鍵合片的真空機械手并充當(dāng)鍵合片分離載臺，帶有紅外線感應(yīng)的雙卡刀具并且可以通過調(diào)節(jié)裝置來控制靠近或遠離的運動。