一種晶圓傳輸機(jī)械手測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210539325.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103033381B 公開(kāi)（公告）日 2015-07-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN103033381B 申請(qǐng)公布日 2015-07-15
分類號(hào) G01M99/00(2011.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 馬麗梅;趙力行;李浩林;姚廣軍;蔣俊海 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京京儀自動(dòng)化技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐寧
地址 100009 北京市西城區(qū)鼓樓西大街41號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶圓傳輸機(jī)械手測(cè)試裝置，其特征在于：它包括一支架、一測(cè)試手叉、一類晶圓震動(dòng)感應(yīng)器和控制系統(tǒng)；支架包括一立柱，立柱上橫向連接有一上連接桿和一下連接桿，上連接桿上設(shè)置一位移傳感器，下連接桿上設(shè)置一圖像傳感器，位移傳感器和圖像傳感器分別電連接控制系統(tǒng)；測(cè)試手叉包括一片狀的手腕，手腕后部設(shè)置有若干通透的弧形孔，弧形孔前方的手腕上設(shè)置有連接手掌的若干長(zhǎng)圓孔，手掌前部底面設(shè)置一具有定位標(biāo)識(shí)和標(biāo)定標(biāo)識(shí)的定位板，手掌的頂面設(shè)置有一圓形凹臺(tái)；類晶圓震動(dòng)感應(yīng)器的中心集成有加速度傳感器，類晶圓震動(dòng)感應(yīng)器頂面的中心設(shè)置有一標(biāo)定物。本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于各種傳輸機(jī)械手定位、重復(fù)定位精度的測(cè)試過(guò)程中。