一種硅片傳送裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310070583.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103199044B 公開(kāi)（公告）日 2015-06-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN103199044B 申請(qǐng)公布日 2015-06-24
分類(lèi)號(hào) H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳百捷;姚廣軍;劉影;蔣俊海;劉學(xué)輝;趙力行 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京京儀自動(dòng)化技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐寧
地址 100009 北京市西城區(qū)鼓樓西大街41號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅片傳送裝置，其特征在于：它包括水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，垂直驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、機(jī)械手叉、預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和機(jī)械手叉在垂直驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下沿豎直方向移動(dòng)；機(jī)械手叉在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)取片；預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)前部設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸電機(jī)帶動(dòng)的轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上端連接一吸盤(pán)，轉(zhuǎn)軸下端與真空泵連通；預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的前端設(shè)置有電連接控制系統(tǒng)的一對(duì)水平光電傳感器、一對(duì)豎直光電傳感器和一智能相機(jī)。本發(fā)明能夠在搬運(yùn)過(guò)程中對(duì)硅片上的定位槽進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)并且讀取硅片信息，它可以廣泛應(yīng)用于各類(lèi)薄型基片的搬運(yùn)過(guò)程中。