一種銅制程用剝離液的高效制備裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120816401.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214862795U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214862795U 申請公布日 2021-11-26
分類號 B01F7/18（2006.01）I;B01F3/22（2006.01）I;B01F15/02（2006.01）I;B01F15/06（2006.01）I;G03F7/42（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 戈燁銘;何珂;湯曉春 申請（專利權）人 江陰潤瑪電子材料股份有限公司
代理機構 江陰市揚子專利代理事務所（普通合伙） 代理人 張琪
地址 214423江蘇省無錫市江陰市周莊鎮(zhèn)歐洲工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種銅制程用剝離液的高效制備裝置，屬于剝離液的制備技術領域。包括分別與混合罐進口連接的醇醚儲罐、有機溶劑儲罐、緩蝕劑儲罐、表面活性劑儲罐、去離子水儲罐和順次連接的混合罐、調(diào)節(jié)閥、過濾裝置和成品罐，所述混合罐的內(nèi)壁上設置有環(huán)形凸起，所述環(huán)形凸起上設置有導流盤，所述導流盤的中心位置為圓錐凸起，所述導流盤的邊側為向內(nèi)帶有坡度的導流環(huán)，圓錐凸起的外側與導流環(huán)的內(nèi)側之間間隔形成導流通道，所述導流通道的底面連通導流管，所述導流管的內(nèi)徑從上到下逐漸減小，所述導流管的管壁上均勻的設置有多個孔洞，所述混合罐內(nèi)還設置有攪拌裝置。本實用新型結構簡單，使各個組分原料充分攪拌混合，縮短了生產(chǎn)所需的時間。