一種半導(dǎo)體用高選擇比硅蝕刻液的制備裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121245811.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215277239U 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN215277239U 申請公布日 2021-12-24
分類號 B01J8/10（2006.01）I;B02C4/02（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 何珂;戈燁銘;湯曉春 申請（專利權(quán)）人 江陰潤瑪電子材料股份有限公司
代理機構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹鍵
地址 214423江蘇省無錫市江陰市周莊鎮(zhèn)歐洲工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體用高選擇比硅蝕刻液的制備裝置，包括支撐機構(gòu)；所述支撐機構(gòu)頂部的一側(cè)安裝有智能控制器，所述支撐機構(gòu)的頂部通過固定桿安裝有隔熱罐，所述隔熱罐的內(nèi)部設(shè)有反應(yīng)罐，所述反應(yīng)罐頂部的一側(cè)設(shè)有破碎裝置，所述反應(yīng)罐的內(nèi)部設(shè)有攪拌裝置,所述隔熱罐與反應(yīng)罐之間設(shè)置有水腔，所述隔熱罐頂部一側(cè)設(shè)有進水口；本實用新型通過反應(yīng)罐頂部一側(cè)設(shè)置的破碎裝置將固體的鹽酸和硝酸在通過第一粉碎輥和第二粉碎輥嚙合轉(zhuǎn)動時碾碎成粉后掉落到反應(yīng)罐的內(nèi)部，粉狀的鹽酸和硝酸能夠快速與水發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，再通過攪拌裝置的攪拌，能夠加快反應(yīng)的速率，從而提高制備硅蝕刻液的生產(chǎn)效率。