一種柔性面板用光刻膠清洗劑及其生產(chǎn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110646419.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113568287A 公開（公告）日 2021-10-29
申請公布號 CN113568287A 申請公布日 2021-10-29
分類號 G03F7/42（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 湯曉春;何珂;戈燁銘 申請（專利權(quán)）人 江陰潤瑪電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹鍵
地址 214423江蘇省無錫市江陰市周莊鎮(zhèn)歐洲工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種柔性面板用光刻膠清洗劑及其生產(chǎn)工藝，屬于清洗劑技術(shù)領(lǐng)域。其本發(fā)明提供的柔性面板用光刻膠清洗劑包括以下重量百分比的組分：1.5?9.5％季銨氫氧化物、0.5?16.5％水、4.5?21.5％異丙二醇單芐基醚、0.5?5.5％緩蝕劑，余量為有機(jī)溶劑。且本發(fā)明利用了4?羥基丁酸、二乙烯三胺、芐氯、肉桂醛和γ?（2,3?環(huán)氧丙氧基）丙基三甲氧基硅烷逐步反應(yīng)生成緩蝕劑，并在季銨氫氧化物光刻膠清洗劑中引入了該緩蝕劑，因該緩蝕劑中的硅氧烷鏈和曼妮希堿、苯環(huán)、咪唑啉的結(jié)構(gòu)特性，使得其極易在銅箔或鋁箔表面形成致密的保護(hù)膜，避免了季銨氫氧化物對銅箔或鋁箔的腐蝕，且對光刻膠高效清洗。