一種半導(dǎo)體芯片用鎳銀腐蝕液的制備裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121245823.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215276930U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215276930U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01F7/24（2006.01）I;B01F15/00（2006.01）I;B01F15/04（2006.01）I | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 何珂;戈燁銘;湯曉春 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江陰潤(rùn)瑪電子材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 江陰市輕舟專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 曹鍵 |
| 地址 | 214423江蘇省無(wú)錫市江陰市周莊鎮(zhèn)歐洲工業(yè)園區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體芯片用鎳銀腐蝕液的制備裝置，包括罐體；所述罐體的頂部等距安裝有配比罐，所述罐體底部的外側(cè)安裝有儲(chǔ)液機(jī)構(gòu)；本實(shí)用新型通過(guò)在配比罐底部的外側(cè)安裝有自動(dòng)配比機(jī)構(gòu)，隨著溶液流出罐體內(nèi)部時(shí)，液位傳感器可以對(duì)儲(chǔ)液機(jī)構(gòu)內(nèi)部的溶液進(jìn)行監(jiān)測(cè)，當(dāng)液位傳感器監(jiān)測(cè)到液面較低時(shí)，通過(guò)將指令傳送至控制箱，然后通過(guò)控制箱控制電磁閥打開(kāi)，使配比罐內(nèi)部的溶液流出及時(shí)對(duì)溶液進(jìn)行配比補(bǔ)充，通過(guò)在罐體的內(nèi)頂部安裝有清理機(jī)構(gòu)，通過(guò)伸縮桿內(nèi)部的電機(jī)組件帶動(dòng)絲桿結(jié)構(gòu)傳動(dòng)螺母進(jìn)行移動(dòng)，使伸縮桿的伸縮端伸縮，進(jìn)而帶動(dòng)連接板進(jìn)行移動(dòng)，當(dāng)連接板移動(dòng)時(shí)可以帶動(dòng)外側(cè)的毛刷對(duì)罐體內(nèi)部殘留的溶液進(jìn)行清理。 |
