一種超凈高純過氧化氫的生產(chǎn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110664604.6 申請日 -
公開(公告)號 CN113636526A 公開(公告)日 2021-11-12
申請公布號 CN113636526A 申請公布日 2021-11-12
分類號 C01B15/013(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 戈士勇;何珂;湯曉春 申請(專利權(quán))人 江陰潤瑪電子材料股份有限公司
代理機構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 曹鍵
地址 214423江蘇省無錫市江陰市周莊鎮(zhèn)歐洲工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超凈高純過氧化氫的生產(chǎn)工藝,涉及化工技術(shù)領(lǐng)域,包括以下步驟:(1)將工業(yè)過氧化氫進行氧化處理,得到氧化處理過氧化氫,氧化處理依次分為惰性氣體的排出和氧化劑的氧化;(2)將上述得到的氧化處理過氧化氫采用交換樹脂進行過濾處理,得到樹脂過濾過氧化氫;(3)再將樹脂過濾過氧化氫采用過濾膜進行微過濾處理,過濾得到的濾液即為高純過氧化氫;通過本發(fā)明工藝對工業(yè)過氧化氫進行處理,能夠大幅度的提高工業(yè)過氧化氫的純度,從而使得其能夠更好的應(yīng)用于半導(dǎo)體晶體片的清洗劑、腐蝕劑和光刻膠的去除劑,電子工業(yè)制取高級絕緣層、去除電鍍液中無機雜質(zhì),效果顯著,提高產(chǎn)品的質(zhì)量。