一種化學(xué)機械拋光液用氧化鋁及其制備工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910320947.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109867298A 公開（公告）日 2019-06-11
申請公布號 CN109867298A 申請公布日 2019-06-11
分類號 C01F7/02;C01F7/46;C09K3/14 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 左海珍 申請（專利權(quán)）人 長沙旺星置業(yè)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 014040 內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市九原區(qū)金沙華府4棟樓2單元2樓東戶
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學(xué)機械拋光液用氧化鋁及其制備方法，其中拋光液中的α?氧化鋁顆粒由高嶺石提純獲得，所述氧化鋁顆粒的純度大于99wt.%、莫氏硬度9.1、顆粒尺寸集中于0.5±0.25μm，D97≤1μm，且制備過程簡單、原料來源廣泛，產(chǎn)品性價比強，可廣泛用于各個行業(yè)和領(lǐng)域，能夠滿足CMP拋光要求。