一種薄膜折射率獲取方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611221739.0 申請日 -
公開（公告）號 CN106711282B 公開（公告）日 2018-08-24
申請公布號 CN106711282B 申請公布日 2018-08-24
分類號 H01L31/18;H01L31/0216 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李璐;高楊;孫杰;羅小剛;高慧慧;杜靈 申請（專利權(quán)）人 江西瑞安新能源有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江西瑞安新能源有限公司
地址 338019 江西省新余市渝水區(qū)下村工業(yè)基地大一路22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種薄膜折射率獲取方法及裝置，屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。所述方法應(yīng)用于PECVD鍍膜工藝中，所述方法包括：根據(jù)至少一個預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)獲得所述至少一個預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)中的每個預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)在輝光時的電壓參數(shù)；根據(jù)電壓與折射率對照表獲得每個電壓參數(shù)對應(yīng)的折射率；根據(jù)獲得的每個折射率和每個折射率相對應(yīng)的預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)占總鍍膜參數(shù)的時間占比，利用折射率公式獲得薄膜的總折射率，其中，所述總鍍膜參數(shù)為所有的預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)的總和。該方法可以提前預(yù)知薄膜的折射率情況，能及時發(fā)現(xiàn)問題，早做調(diào)整，具有監(jiān)控的及時性，從而生產(chǎn)出的薄膜可以提高電池的轉(zhuǎn)化效率。