一種傳感器的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611037812.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106430075B 公開（公告）日 2017-11-07
申請公布號 CN106430075B 申請公布日 2017-11-07
分類號 B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 付關軍 申請（專利權）人 山東鴻榮電子有限公司
代理機構 蘇州廣正知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 山東鴻榮電子有限公司
地址 253100 山東省德州市平原縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種傳感器的制造方法，包括以下步驟：（1）提供第一襯底，所述第一襯底包括具有第一光接收區(qū)的正面和與所述正面相對的背面；（2）所述第一襯底的背面制作凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述第一襯底的厚度的一半；（3）提供第二襯底，并將所述第二襯底固定于所述凹槽內，所述第二襯底包括具有第二光接收區(qū)的正面和與所述正面相對的背面，所述第二襯底的正面與所述第一襯底的背面共面。