一種批量化制備高純亞微米水合硅和硅微粒的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610372956.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105818287A 公開（公告）日 2016-08-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN105818287A 申請(qǐng)公布日 2016-08-03
分類號(hào) B28D5/04(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 孫卓;劉素霞 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 賽韞科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京連城創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海納晶科技有限公司;賽韞科技（上海）有限公司
地址 200062 上海市普陀區(qū)中山北路3663號(hào)理科大樓A607
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和太陽能硅材料技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種批量化制備高純亞微米水合硅和硅微粒的方法，采用微細(xì)金剛石線，在去離子水輔助下，對(duì)高純硅棒或硅錠進(jìn)行研磨切割，當(dāng)硅微粒濃度達(dá)到10wt%后，將混合物進(jìn)行提純分離，形成壓濾水和水合硅微粒；對(duì)壓濾水進(jìn)行純化后，進(jìn)行循環(huán)使用，對(duì)水合硅微粒進(jìn)行真空冷凍干燥，形成高純硅微粒。本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，采用微細(xì)金剛石線切割工藝，在去離子水作用下對(duì)高純硅棒進(jìn)行研磨切割制備高純硅片，同時(shí)，將切割后的去離子水和硅微粒的混合物進(jìn)行提純，以制備高純水合硅微粒或高純硅微粒，并加以資源化利用。經(jīng)硅微粒提純后的水溶液再凈化后可注入微細(xì)金剛石線切割工藝工程中進(jìn)行循環(huán)使用。