一種單晶生長(zhǎng)過程壓力監(jiān)控系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011240163.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112362222B 公開（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112362222B 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) G01L11/00（2006.01）I;G01M3/28（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I;H02K7/116（2006.01）I;H02K7/10（2006.01）I;H02K7/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 哈爾濱晶創(chuàng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韓立巖
地址 150000黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)哈西大街與學(xué)府四道街交匯處第40棟-1層112室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種單晶生長(zhǎng)過程壓力監(jiān)控系統(tǒng)，其技術(shù)方案是：包括底板，所述底板頂部固定連接有石英坩堝和儲(chǔ)氣罐，所述石英坩堝位于儲(chǔ)氣罐一側(cè)，所述石英坩堝一側(cè)設(shè)有壓緊機(jī)構(gòu)；所述壓緊機(jī)構(gòu)包括密封罩，所述密封罩固定連接在石英坩堝一側(cè)，所述密封罩位于石英坩堝和儲(chǔ)氣罐內(nèi)側(cè)，所述密封罩內(nèi)部嵌設(shè)有基座，一種單晶生長(zhǎng)過程壓力監(jiān)控系統(tǒng)有益效果是：通過設(shè)置壓緊機(jī)構(gòu)，可在壓力調(diào)節(jié)時(shí)，兩個(gè)夾座同時(shí)靠近將支管和接口夾緊，保證接口和支管連接的可靠性，避免泄露發(fā)生，同時(shí)還可實(shí)時(shí)對(duì)石英坩堝、儲(chǔ)氣罐和密封罩內(nèi)部進(jìn)行壓力監(jiān)測(cè)，并可通過密封罩內(nèi)部壓力變化判斷是否泄露，好及時(shí)通知維修。