一種單晶生長過程壓力監(jiān)控系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011240163.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112362222B 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN112362222B 申請公布日 2022-03-04
分類號 G01L11/00（2006.01）I;G01M3/28（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I;H02K7/116（2006.01）I;H02K7/10（2006.01）I;H02K7/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 哈爾濱晶創(chuàng)科技有限公司
代理機構 哈爾濱市偉晨專利代理事務所（普通合伙） 代理人 韓立巖
地址 150000黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)哈西大街與學府四道街交匯處第40棟-1層112室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種單晶生長過程壓力監(jiān)控系統(tǒng)，其技術方案是：包括底板，所述底板頂部固定連接有石英坩堝和儲氣罐，所述石英坩堝位于儲氣罐一側，所述石英坩堝一側設有壓緊機構；所述壓緊機構包括密封罩，所述密封罩固定連接在石英坩堝一側，所述密封罩位于石英坩堝和儲氣罐內(nèi)側，所述密封罩內(nèi)部嵌設有基座，一種單晶生長過程壓力監(jiān)控系統(tǒng)有益效果是：通過設置壓緊機構，可在壓力調(diào)節(jié)時，兩個夾座同時靠近將支管和接口夾緊，保證接口和支管連接的可靠性，避免泄露發(fā)生，同時還可實時對石英坩堝、儲氣罐和密封罩內(nèi)部進行壓力監(jiān)測，并可通過密封罩內(nèi)部壓力變化判斷是否泄露，好及時通知維修。