一種單晶生長(zhǎng)過(guò)程壓力監(jiān)控系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011240163.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112362222A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112362222A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01L11/00(2006.01)I; | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 哈爾濱晶創(chuàng)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市偉晨專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 韓立巖 |
| 地址 | 150000黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)哈西大街與學(xué)府四道街交匯處第40棟-1層112室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶生長(zhǎng)過(guò)程壓力監(jiān)控系統(tǒng)，其技術(shù)方案是：包括底板，所述底板頂部固定連接有石英坩堝和儲(chǔ)氣罐，所述石英坩堝位于儲(chǔ)氣罐一側(cè)，所述石英坩堝一側(cè)設(shè)有壓緊機(jī)構(gòu)；所述壓緊機(jī)構(gòu)包括密封罩，所述密封罩固定連接在石英坩堝一側(cè)，所述密封罩位于石英坩堝和儲(chǔ)氣罐內(nèi)側(cè)，所述密封罩內(nèi)部嵌設(shè)有基座，一種單晶生長(zhǎng)過(guò)程壓力監(jiān)控系統(tǒng)有益效果是：通過(guò)設(shè)置壓緊機(jī)構(gòu)，可在壓力調(diào)節(jié)時(shí)，兩個(gè)夾座同時(shí)靠近將支管和接口夾緊，保證接口和支管連接的可靠性，避免泄露發(fā)生，同時(shí)還可實(shí)時(shí)對(duì)石英坩堝、儲(chǔ)氣罐和密封罩內(nèi)部進(jìn)行壓力監(jiān)測(cè)，并可通過(guò)密封罩內(nèi)部壓力變化判斷是否泄露，好及時(shí)通知維修。?? |
