功率器件套刻偏差電性測(cè)量結(jié)構(gòu)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010191526.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113496904A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113496904A 申請(qǐng)公布日 2021-10-12
分類(lèi)號(hào) H01L21/66（2006.01）I;H01L23/544（2006.01）I;G01B7/00（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊龍康;王歡;季明華;徐懷花;張汝京 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 芯恩（青島）集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 266000山東省青島市黃島區(qū)太白山路19號(hào)德國(guó)企業(yè)南區(qū)401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種功率器件套刻偏差電性測(cè)量結(jié)構(gòu)及方法，結(jié)構(gòu)包括：具有第一導(dǎo)電類(lèi)型的襯底；形成于襯底中且相互平行的第一溝槽柵和第二溝槽柵；具有第二導(dǎo)電類(lèi)型的阱區(qū)，形成于第一溝槽柵和第二溝槽柵之間的襯底表面；具有第一導(dǎo)電類(lèi)型的源區(qū)，形成于阱區(qū)表面；連接源區(qū)的接觸結(jié)構(gòu)；接觸結(jié)構(gòu)在襯底表面的投影位于第一溝槽柵和第二溝槽柵在襯底表面的投影之間，且分別具有不同的第一間距的第二間距。本發(fā)明設(shè)置與接觸結(jié)構(gòu)具有不同間距的第一溝槽柵和第二溝槽柵，通過(guò)計(jì)算其與標(biāo)準(zhǔn)量測(cè)閾值電壓的差值，得到標(biāo)準(zhǔn)閾值電壓對(duì)應(yīng)的套刻對(duì)準(zhǔn)值，通過(guò)電性測(cè)試方法測(cè)量套刻偏差，相比光刻套刻量測(cè)具有更高的精度，也有助于器件仿真設(shè)計(jì)及工藝規(guī)格的設(shè)定。