一種靜電吸盤及晶圓測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010194361.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113496934A 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號 CN113496934A 申請公布日 2021-10-12
分類號 H01L21/683（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱海斌;嚴大生;蔡育源 申請（專利權(quán)）人 芯恩（青島）集成電路有限公司
代理機構(gòu) 北京漢之知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 高園園
地址 266555山東省青島市黃島區(qū)中德生態(tài)園團結(jié)路2877號ICIC辦公樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種靜電吸盤及晶圓測試方法，包括：基板，用于承載待吸附物；絕緣層，設置在所述基板的上方，通過靜電吸附所述待吸附物；導電部，導電部設置在所述絕緣層中，與所述待吸附物的背面的至少部分區(qū)域接觸；其中所述基板和所述絕緣層包括同心設置的可升降的多個部分。本發(fā)明所述的靜電吸盤可以適用于不同規(guī)格的晶圓測試，不僅可以降低晶圓的破片率，同時能夠提高機臺的利用率。