分離柵器件結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010192099.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113497120A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113497120A 申請(qǐng)公布日 2021-10-12
分類號(hào) H01L29/423（2006.01）I;H01L29/78（2006.01）I;H01L29/739（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉聰慧;季明華;張汝京;徐懷花;楊龍康 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 芯恩（青島）集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 266000山東省青島市黃島區(qū)太白山路19號(hào)德國(guó)企業(yè)南區(qū)401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種分離柵器件結(jié)構(gòu)，包括：襯底；位于所述襯底中的控制柵結(jié)構(gòu)；位于所述控制柵結(jié)構(gòu)下方的分離柵結(jié)構(gòu)；所述分離柵結(jié)構(gòu)包括核心區(qū)和包裹所述核心區(qū)的隔離結(jié)構(gòu)；所述核心區(qū)包括空氣間隙層或介質(zhì)層。本發(fā)明通過(guò)在功率器件的控制柵結(jié)構(gòu)的下方設(shè)置具有核心區(qū)和隔離結(jié)構(gòu)的分離柵結(jié)構(gòu)，提供了無(wú)需連接至器件發(fā)射極或源極的分離柵結(jié)構(gòu)，不但降低了器件中柵極至漏極的密勒電容，也降低了器件的導(dǎo)通電阻，同時(shí)簡(jiǎn)化了工藝流程。此外，還避免了對(duì)開(kāi)關(guān)損耗等器件性能的影響，提升了器件擊穿電壓，增強(qiáng)產(chǎn)品市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。