一種用于電容測(cè)量的高精度可快速插拔樣品托

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021680803.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213398732U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN213398732U 申請(qǐng)公布日 2021-06-08
分類號(hào) G01R27/26;G01R1/18;G01R1/067 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 叢君狀;申世鵬;申見(jiàn)昕 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 多場(chǎng)低溫科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉棚滔
地址 100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村恒興大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于電容測(cè)量的高精度可快速插拔樣品托，包括樣品公托絕緣板、多個(gè)公托金屬覆層、樣品母座絕緣板、多個(gè)母座金屬覆層和金屬插針；樣品公托絕緣板與樣品母座絕緣板通過(guò)金屬插針連接；多個(gè)公托金屬覆層均布設(shè)置在樣品公托絕緣板的上下兩面；公托絕緣板上設(shè)置多個(gè)公托屏蔽保護(hù)插針和多個(gè)公托信號(hào)傳輸插針；每個(gè)公托信號(hào)傳輸插針對(duì)應(yīng)一個(gè)公托金屬焊盤(pán)；每個(gè)公托屏蔽保護(hù)插針對(duì)應(yīng)一圈金屬化過(guò)孔；母座絕緣板設(shè)置多個(gè)母座屏蔽保護(hù)插針和母座信號(hào)傳輸插針。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)電磁屏蔽的功能，獨(dú)特的信號(hào)傳輸和屏蔽保護(hù)設(shè)計(jì)，在測(cè)量電容時(shí)減小樣品托本身帶來(lái)的寄生電容，提高電容測(cè)量樣品托的測(cè)量精度，同時(shí)，可插拔設(shè)計(jì)提高樣品測(cè)量的效率。