一種XY自校正頂針模組

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920849469.0 申請日 -
公開（公告）號 CN209963038U 公開（公告）日 2020-01-17
申請公布號 CN209963038U 申請公布日 2020-01-17
分類號 H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王體;李輝 申請（專利權(quán)）人 深圳市諾泰自動化設備有限公司
代理機構(gòu) 深圳市中聯(lián)專利代理有限公司 代理人 李俊
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道和一社區(qū)沙井萬豐華豐創(chuàng)業(yè)園廠房1棟四層D座南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種XY自校正頂針模組，包括安全防護罩、XY軸運動機構(gòu)、Z軸運動機構(gòu)和頂針運動機構(gòu)，所述XY軸運動機構(gòu)上端設置有Z軸運動機構(gòu)，所述Z軸運動機構(gòu)上端設置有頂針運動機構(gòu)，所述Z軸運動機構(gòu)上端設置有安全防護罩，所述XY軸運動機構(gòu)由X軸運動機構(gòu)與Y軸運動機構(gòu)組成，所述X軸運動機構(gòu)由X軸傳動電機、偏心輪傳動機構(gòu)、X軸交叉滾柱軸承、Y軸傳動電機、彈簧推力機構(gòu)、移動工作平臺、Y軸交叉滾柱軸承與XY校正平臺底板組成，這樣大大解放了操作員的雙手，降低人力成本，提高生產(chǎn)效率，其結(jié)果能夠滿足半導體芯片高速度、高精度、高可靠性、高自動化的芯片生產(chǎn)工藝要求。